半小时算力课 No.2 光刻机的原理、发展史与竞争格局
钞能力研究室
Sep 06
半小时算力课 No.2 光刻机的原理、发展史与竞争格局
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第二节课,讲人类发明的最精密的机器。 光刻机干的活,本质上可以类比成一台照相机:把电路图像幻灯片一样,用光缩小 4 倍,投影到涂了光刻胶的硅片上;一片先进芯片要这样套印几十上百层,层层分毫不差。线条越细,就得用波长越短的光 —— 从汞灯的 436 纳米,一路压到极紫外光的 13.5 纳米。 到 EUV 这一代,物理学处处跟科学家作对:这种光空气能吸收、玻璃也能吸收,机器里只能抽成高真空、改用反射镜;光在自然界不存在,得凭空造 —— 每秒 5 万次激光轰击锡滴,打出 22 万摄氏度、太阳表面近 40 倍的等离子体;蔡司的反射镜平到放大到整个德国...
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